☆ナノエレクトロニクス工学特論（Nano-Electronics Engineering）[3504]

＜授業のねらい及び具体的な到達目標＞

アメリカが「国家ナノテクノロジー戦略(NNI)」を発表して以来、ナノテクノロジーに関する研究開発・産業分野は急速な広がりを見せている。本講義では電子工学分野におけるナノテクノロジーの概論および基幹技術である作製技術、計測評価技術について習得する。
Since the United States announced "National Nanotechnology Initiative = NNI", research development has been spread out rapidly. In this lecture, students learn about fabrication and measurement techniques for nanotechnology especially in electronics.

＜授業計画及び準備学習＞

1) 微細加工の歴史
History of Precise Processing
2) ナノテクノロジーの基礎　（作成方法の概念：トップダウンとボトムアップ）
Basics of Nano-Technology (Top down and Bottom up)
3) ナノ構造とその特性Ｉ　（３次元、２次元構造）
Nano-structure and its nature (I) (3D, 2D structures)
4) ナノ構造とその特性II　（１次元、０次元構造）
Nano-structure and its nature (II) (1D, 0D structures)
5) 原子スケール構造の創成　（原子・分子配線、スイッチ）
Fabrication of Atomic-Scale Structure (Atom and Molecular Wiring, Switch)
6) ナノ構造の作製技術Ｉ（電子線、イオンビーム、Ｘ線リソグラフィ）
Fabrication method for Nano-Structure (I) (Electron beam, Ion Beam, X-ray lithography)
7) ナノ構造の作製技術II　（MEMS、LIGAプロセス）
Fabrication method for Nano-Structure (II) (MEMS, LIGA-process)
8) ナノ構造の実用大量合成　（フラーレン、カーボンナノチューブ）
Industrial Synthesis method for Nano-Structure (fullerene, carbon-nanotube)
9) シリコンナノプロセス　（表面処理、インプリント、エッチング、ドーピング）
Nano-processing for Si (Surface treatment, imprint, etching, doping)
10) 解析評価技術I （原子配列の解析手法）
Measurement techniques I (Atomic arrangement)
11) 解析評価技術II（モフォロジ及び形状観察手法）
Measurement techniques II (Morphology, Roughness)
12) 解析評価技術III （元素解析1）
Measurement techniques III (Element Analysis, part I)
13) 解析評価技術IV （元素解析2）
Measurement techniques IV (Element Analysis, part II)
14) ナノテクノロジーの今後 （１）
Future of the Nano-technology I
15) ナノテクノロジーの今後 （２）
Future of the Nano-technology II

＜成績評価方法及び水準＞

与えられたテーマに沿ったレポートにより評価する。テーマは講義中に指定する。
Evaluated after reviewing reports. Theme will be given in the lecture.

＜教科書＞

指定しない（必要に応じてプリントを配付）
Not announced (printed materials will be distributed if necessary)

＜参考書＞

「ナノテクノロジーハンドブック」、ナノテクノロジーハンドブック編集委員会、丸善
Nanotechnology Handbook, Maruzen (in Japanese)

＜オフィスアワー＞

火曜日　17:00-19:00　場所：八王子５号館７０１
Tuesday 17:00-19:00, 5th bld, rm701 in Hachioji-campus

＜学生へのメッセージ＞

ナノテクノロジーは新しい分野ですが、使われている技術そのものは他分野において古くから使われてきたものも多く含みます。電気・電子系だけではなく、化学系、機械系の学生にも役立つ知識です。
Nanotechnology is rather new field. But it is based on the traditional technique and knowledge. It is useful not only for electric and electronics, but also chemistry and mechanics.