☆マイクロシステム工学特論（Advanced Course of Microsystem Engineering）[2501]

＜授業のねらい及び具体的な到達目標＞

(1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、アクチュエータ、センサ、スケール効果およびマイクロシステムの応用について学ぶ。
(2) マイクロシステムの設計、製作プロセスを実際に体験する。
(3) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その内容を簡潔にまとめて発表することにより、マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、プレゼンテーション能力を向上させる。

This is a graduate-level microsystems technology course. On completion of this course, the student should be able to:
・have an awareness of basic knowledge related to fabrication technology, actuators, sensors, scaling effect, science and engineering for nano- and micro-systems.
・have an experience of design and fabricatin of microsystems.
・read a reserarch paper on microsystems writen in English and make a presentation about the contents of the paper. This leads to a deep understanding about microsystems and improvement of English reading comprehension ability and presentation skills.

＜授業計画及び準備学習＞

第１回：マイクロシステムの概要について学ぶ
第２回：物理量のスケール効果について学ぶ
第３回：マイクロ加工技術について学ぶ
第４回：マイクロアクチュエータの種類、構造、原理について学ぶ
第５回：マイクロセンサの種類、構造、原理について学ぶ
第６回：マイクロロボットについて学ぶ
第７回：マイクロトライボロジー・マイクロ機能表面について学ぶ
第８回：マイクロ流体デバイスについて学ぶ
第９回：マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション（熱・流体分野）
第１０回：マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション（材料分野）
第１１回：マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション（メカトロニクス分野）
第１２回：マイクロシステムの設計について学ぶ
第１３回：MBSC棟マイクロ加工設備を用いたマイクロシステムの製作実習
第１４回：学習内容の振り返り
定期試験を実施しない

1. Overview of microsystems
2. Scaling effects
3. Microfabrication technology
4. Microactuators
5. Microsensots
6. Microrobots
7. Microtribology and functional microstructured surfaces
8 Microfulidic devices
9. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (Field of thermal fluid)
10. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (Field of materials )
11. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (Field of mechatronics)
12. Practice of microsystems design
13. Practice of microfabrication using facilities in the MBSC cleanroom
14. Reviewing of the course

＜成績評価方法及び水準＞

マイクロシステムに関する文献調査と発表，およびマイクロシステムの設計，製作の結果により成績評価を行う．

Evaluation: The score is evaluated by resutls of leterature survay, presentation, design and fabrication of microsystems.

＜教科書＞

特に指定しない

＜参考書＞

江刺正喜, はじめてのMEMS, 森北出版，2011

＜オフィスアワー＞

水曜日 14:00〜16:00 八王子16号館（MBSC棟）16-121号室（マイクロシステム研究室）

＜学生へのメッセージ＞

マイクロ技術は、今後の工学の発展に重要な役割を果たすので、その考え方を習得してほしい。