☆マイクロシステム工学特論（Advanced Course of Microsystem Engineering）[2502]

＜授業のねらい及び具体的な到達目標＞

(1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、アクチュエータとセンサ、スケール効果、マイクロ理工学について学ぶ。
(2) マイクロシステムの設計、製作プロセスを実際に体験する。
(3) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その内容を簡潔にまとめ発表することにより、マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、プレゼンテーション能力を高める。
This is a graduate-level microsystems technology course. On completion of this course, the student should be able to:
・have an awareness of basic knowledge related to fabrication technology, actuators, sensors, scaling effect, science and engineering for nano- and micro-systems.
・have an experience of design and fabricatin of microsystems.
・read a reserarch paper on microsystems writen in English and make a presentation about the contents of the paper. This leads to a deep understanding about microsystems and improvement of English reading comprehension ability and presentation skills.

＜授業計画及び準備学習＞

1 マイクロシステムの概要
2 スケール効果
3 マイクロ加工技術
4 マイクロアクチュエータ
5 マイクロセンサ
6 マイクロロボット
7 マイクロトライボロジー
8 マイクロシステムの応用
9 マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション(1)
10 マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション(2)
11 マイクロシステムに関する英語論文の読解とプレゼンテーション(3)
12 マイクロシステムの設計
13 MBSC棟マイクロ加工装置を用いたマイクロシステムの製作
14 学修内容の振り返り

1. Overview of microsystems
2. Scaling effects
3. Microfabrication technology
4. Microactuators
5. Microsensots
6. Microtribology
7. Microrobots
8 Apprication of microsystems
9. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (1)
10. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (2)
11. Reading comprehension and presentation of research paper on microsystems (3)
12. Practice of microsystems design
13. Practice of microfabrication
14. Reviewing of the course

＜成績評価方法及び水準＞

マイクロシステムに関する文献調査と発表，およびマイクロシステムの設計，製作の結果により成績評価を行う．

Evaluation: The score is evaluated by resutls of leterature survay, presentation, design and fabrication of microsystems.

＜教科書＞

特に指定しない

＜参考書＞

江刺正喜, はじめてのMEMS, 森北出版，2011

＜オフィスアワー＞

水曜日 14:00〜16:00 八王子16号館（MBSC棟）16-121号室（マイクロシステム研究室）

＜学生へのメッセージ＞

マイクロ技術は、今後の工学の発展に重要な役割を果たすので、その考え方を習得してほしい。