☆マイクロシステム工学特論（Advanced Course of Microsystem Engineering）[2502]

＜授業のねらい及び具体的な到達目標＞

(1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、アクチュエータとセンサ、スケール効果、マイクロ理工学について学ぶ。
(2) マイクロシステムの設計、製作プロセスを実際に体験する。
(3) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その内容を簡潔にまとめ発表することにより、マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、プレゼンテーション能力を高める。

＜授業計画及び準備学習＞

１．マイクロシステムの基礎（７回）
　1.1 スケール効果
　1.2 マイクロ加工技術
　1.3 マイクロアクチュエータ
　1.4 マイクロセンサ
　1.5 マイクロロボット
　1.6 マイクロトライボロジー
　1.7 マイクロシステムの応用

２．マイクロシステムに関する英語の文献の調査と発表（５回）

３．マイクロシステムの設計と製作（２回）
　3.1 マイクロシステムの設計
　3.2 MBSC棟マイクロ加工装置を用いたマイクロシステムの製作

＜成績評価方法及び水準＞

マイクロシステムに関する文献調査と発表，およびマイクロシステムの設計，製作の結果により成績評価を行う．

＜教科書＞

特に指定しない

＜参考書＞

江刺正喜, はじめてのMEMS, 森北出版，2011

＜オフィスアワー＞

水曜日 14:00〜16:00 八王子16号館（MBSC棟）16-121号室（マイクロシステム研究室）

＜学生へのメッセージ＞

マイクロ技術は、今後の工学の発展に重要な役割を果たすので、その考え方を習得してほしい。