表面電子物性工学特論（Physical Electronics of Surfaces）[0013]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

金属導体、半導体、絶縁体等の電子材料の表面や界面の諸性質をナノスケールで電子物性の観点から導電現象を中心に取上げる。さらに、接触部をもつ電子機構デバイスなどへの応用問題をあつかう。

＜授業計画及び準備学習＞

１．固体表面を構成する結晶の構造や原子配置等をその内部と比較して説明する。
２．金属や半導体表面への気体分子や原子の吸着のメカニズムと、それらの相互反応と表面皮膜への成長　　を取上げる。
３．表面の解析や分析の手法説明する。STM, AFM,　XPS,EPMA、エリプソメトりなどを例として取上げ　　　る。
４．固体表面が互いに接触する場合、その界面で生ずる諸現象を取上げる。金属ー皮膜ー金属のサンドイ　　ッチ構造について、導電機構をエネルギーバンド論から説明する。
５．接触境界面について接触抵抗やその導電機構を説明する。
６．固体表面の諸現象と実際の電子デバイスとの関連を取上げる。
７．新しい導電材料の開発について考察し、この講義を締めくくる。

＜成績評価方法及び水準＞

レポートの提出と、毎回の講義ごとの意見書の提出と、必要に応じて筆記試験を行う。８０％以上の水準が期待される。

＜教科書＞

毎時間ごとに資料を配布する。

＜参考書＞

玉井輝雄著「半導体デバイスの基礎」コロナ社、
R.Holm著”Electric　Contacts",Springer、

＜オフィスアワー＞

集中講義なので、授業の前後、昼休みを時間を当てる。

このページの著作権は学校法人工学院大学が有しています。 Copyright(c)2010 Kogakuin University. All Rights Reserved.