☆マイクロシステム工学特論（Advanced Course of Microsystem Engineering）[2501]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

(1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、応用、スケール効果、マイクロ理工学について学ぶ。
(2) マイクロシステムの設計、製作プロセスを実際に体験する。
(3) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その内容を簡潔にまとめ、発表することにより、
マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、プレゼンテーション能力を高める。

＜授業計画及び準備学習＞

１．マイクロシステムの基礎
　1.1 マイクロシステムとは
　1.2 スケール効果
　1.3 マイクロ加工技術
　1.4 マイクロアクチュエータ
　1.5 マイクロロボット
　1.6 マイクロトライボロジー
　1.7 マイクロシステムの応用

２．マイクロシステムの設計と製作
　2.1 マイクロシステムの設計
　2.2 MBSC棟マイクロ加工装置を用いたマイクロシステムの製作

３．マイクロシステムに関する英語の文献の調査と発表

＜成績評価方法及び水準＞

マイクロシステムに関する文献調査と発表，およびマイクロシステムの設計，製作の結果により成績評価を行う．

＜参考書＞

藤田博之, マイクロ・ナノマシン技術入門, 工業調査会, 2003.

＜オフィスアワー＞

八王子　MBSC棟121号室　火曜日 11:00〜12:00
その他の時間帯，および新宿での面談は、事前にメールで日程調整をしてください（ksuzuki＠cc.kogakuin.ac.jp）

＜学生へのメッセージ＞

マイクロ技術は、今後の工学の発展に重要な役割を果たすと予想されるので、その考え方をぜひ習得してほしい。

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