2009年度工学院大学大学院・電気・電子工学専攻
電気応用物性計測特論(Advanced Surface Instrumentation for Electrical Application)[2207]
2単位 渡辺 克忠 准教授 [ 教員業績 JP EN ]
- <授業のねらい及び具体的な達成目標>
金属界面を通しての電気伝導などの接触信頼性は、実用的にも重要な課題である。このためには、接触界面状態を精密に知ることが必要である。近年、種々の高精度分析機器が開発されている。本講義では、金属素子の接続界面の電気的、機械的な計測技術を講義する。特に、一方が移動体であるような時を考える。最近のレーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡を題材に、実演を取り込んだ講義を目指す。
- <授業計画>
- <授業計画>
1.低抵抗の測定法、四端子法の原理、弾性接触理論、塑性接触理論(3回) 2.2.1トライボロジーの概要について(3回) 2.2トライボロジーで使用される装置について 3.レーザ顕微鏡 共焦点顕微鏡の原理 4.原子間力顕微鏡(AFM)の概要(3回) タッピングAFM,コンタクトAFM,表面電位顕微鏡(SPoM)など。 5.3.4は可能な人数であれば、実際に簡単な操作を行う。(2回) (3,4は研究室の使用状況によって、変わる。)
- <成績評価方法及び水準>
- 試験またはレポートで判断する。
- <教科書>
- 必要な資料、論文は配布する。
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