マイクロビーム応用工学特論（Microbeam Technology）[1603]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

　マイクロ・ビームを応用した装置は，陰極線管に始まり，各種電子顕微鏡，電子・イオンビームリソグラフィー（露光，描画技術)，集束イオンビーム装置，電子ビームテスタ，イオンビーム蒸着装置，各種計測・分析装置等多彩である。また，どの装置においてもディジタル画像・信号処理技術のウエイトが高まっているのも特筆に値する。本特論では，上記装置・技術の工学分野への応用・問題点等に関して適切な文献等を取り上げ議論する。

＜授業計画＞

１) 高分解能走査電子顕微鏡
２) 高分解能電子線測長装置
３) 環境制御型走査電子顕微鏡，可変圧力走査電子顕微鏡
４) 電子ビーム露光・描画技術1
５) 電子ビーム露光・描画技術2
６) イオンビームエッチング，集束イオンビーム加工
７) 電子・イオンビーム蒸着
８) 電子ビームテスタ1
９) 電子ビームテスタ2
10) 電子ビーム加工・溶接・溶融・分解（大電力）
11) 透過電子顕微鏡
12) 電子ビームを用いた各種計測法
13) ビーム応用分野におけるディジタル画像・信号処理

＜成績評価方法及び水準＞

学習内容の理解度を確認するために試験を行う（60点以上合格）。例年、本人の直筆ノートを持ち込み可としている。

＜教科書＞

プリント，文献等を配布する。
電子顕微鏡技術（MARUZEN Advanced Technology，電子・情報・通信編）

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