☆マイクロビーム工学特論（Science and Technology of Microbeams）[1601]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

　マイクロビーム工学の守備範囲は非常に広い。それを理解・活用するために必要な基礎的学習として，電子・イオンの発生，ビーム形成，荷電粒子の真空電磁界中の挙動とエネルギー輸送，荷電粒子と固体表面との相互作用等が挙げられる。それらを相互に関連させて学習・議論することを本特論での目標とする。

＜授業計画＞

１) 序論
２) 電子・イオンの発生，粒子性・波動性
３) 電子の発生機構
４) 電子銃
５) 電界・磁界中における荷電粒子の運動
６) 静電偏向，電磁偏向
７) 静電レンズ，磁界レンズ
８) ビームの形成
９) 荷電粒子ビームと固体表面の相互作用
10) 各種信号の検出と増幅
11) 荷電粒子によるエネルギー輸送
12) 電子線による損傷・帯電・汚染，外乱
13) ビーム応用

＜成績評価方法及び水準＞

学習内容の理解度を確認するために試験を行う（60点以上合格）。例年、本人の直筆ノートを持ち込み可としている。

＜教科書＞

プリント，文献等を配布する。
荷電粒子ビーム工学（石川順三，コロナ社）

このページの著作権は学校法人工学院大学が有しています。 Copyright(c)2009 Kogakuin University. All Rights Reserved.