2009年度工学院大学大学院・機械工学専攻
☆マイクロシステム工学特論(Advanced Course of Microsystem Engineering)[2501]
2単位 鈴木 健司 教授 [ 教員業績 JP EN ]
- <授業のねらい及び具体的な達成目標>
- (1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、応用、スケール効果、マイクロ理工学について学ぶ。
(2) マイクロシステムの設計、製作プロセスを実際に体験する。 (3) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その内容を簡潔にまとめ、発表することにより、 マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、プレゼンテーション能力を高める。
- <授業計画>
- 1.マイクロシステムの基礎
1.1 マイクロシステムとは 1.2 スケール効果 1.3 マイクロ加工技術 1.4 マイクロアクチュエータ 1.5 マイクロロボット 1.6 マイクロトライボロジー 1.7 マイクロシステムの応用
2.マイクロシステムの設計と製作 2.1 マイクロシステムの設計 2.2 MBSC棟マイクロ加工装置を用いたマイクロシステムの製作
3.マイクロシステムに関する英語文献の調査と発表
- <成績評価方法及び水準>
- マイクロシステムに関する文献調査と発表,およびマイクロシステムの設計,製作の結果により成績評価を行う.
- <参考書>
- 藤田博之, マイクロ・ナノマシン技術入門, 工業調査会, 2003.
- <学生へのメッセージ>
- マイクロ技術は、今後の工学の発展に重要な役割を果たすと予想されるので、その考え方をぜひ習得してほしい。
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