電気応用物性計測特論（Advanced Surface Instrumentation for Electrical Application）[3406]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

金属界面を通しての電気伝導などの接触信頼性は、実用的にも重要な課題である。このためには、界面状態を精密に知ることが必要である。近年、種々の高精度分析機器が開発されている。本講義では、金属素子の接続界面の電気的、機械的な計測技術を講義する。特に、一方が移動体であるような時を考える。最近のレーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡を題材に、実演を取り込んだ講義を目指す。

＜授業計画＞

１．低抵抗の測定法、四端子法の原理、弾性接触理論、塑性接触理論（３回）
２．２．１トライボロジーの概要について（３回）
　　２．２トライボロジーで使用される装置について
３．レーザ顕微鏡
　　　共焦点顕微鏡の原理
４．原子間力顕微鏡(AFM)の概要（３回）
　　タッピングAFM,コンタクトAFM,表面電位顕微鏡(SPoM)など。
５．３．４は可能な人数であれば、実際に簡単な操作を行う。（２回）
　　（３，４は研究室の使用状況によって、変わる。）
　　

＜成績評価方法及び水準＞

試験またはレポートで判断する。

＜教科書＞

必要な資料は配付する。

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