☆ナノエレクトロニクス工学特論１（Nano-Electronics EngineeringI）[3603]

＜授業のねらい＞

アメリカが「国家ナノテクノロジー戦略(NII)」を発表して以来、ナノテクノロジーに関する研究開発・産業分野は急速な広がりを見せている。本講義では電子工学分野におけるナノテクノロジーの概論および基幹技術である作製技術、計測評価技術について習得する。

＜授業計画＞

1) 微細加工の歴史
2) ナノテクノロジーの基礎　（作成方法の概念：トップダウンとボトムアップ）
3) ナノ構造とその特性Ｉ　（３次元、２次元構造）
4) ナノ構造とその特性II　（１次元、０次元構造）
5) 原子スケール構造の創成　（原子・分子配線、スイッチ）
6) ナノ構造の作製技術Ｉ（電子線、イオンビーム、Ｘ線リソグラフィ）
7) ナノ構造の作製技術II　（MEMS、LIGAプロセス）
8) ナノ構造の実用大量合成　（フラーレン、カーボンナノチューブ）
9) シリコンナノプロセス　（表面処理、インプリント、エッチング、ドーピング）
10) 解析評価技術I （原子配列の解析手法）
11) 解析評価技術II（モフォロジ及び形状観察手法）
12) 解析評価技術III （元素解析）
13) ナノテクノロジーの今後

＜教科書＞

指定しない（必要に応じてプリントを配付）

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