応用放射化学特論（Applied Radiochemistry）[0011]

＜授業のねらい＞

機能材料，先端材料，電子デバイスなどの評価のキーとなる代表的な表面分析法のうち，電子，光子を利用した方法の基礎知識を習得し，実際に利用された例を解説して，その理解を深める。

＜授業計画＞

1. 固体表面の微小領域の解析法と評価技術
　1.1　電子，光子，イオンビームと固体との相互作用
　1.2　電子ビームを用いた表面微小領域の分析法
　　ａ) 特性X線，カソードルミネッセンスの発生
　　ｂ) 電子プローブ微小領域分析
　　ｃ) オージェ電子スペクトロメトリー
　　ｄ) 電子エネルギー損失スペクトロメトリー
　　ｅ) 電子線回折
　　ｆ) 電子ビーム表面微小領域の分析の応用
　1.3　光子ビームを用いた表面微小領域の分析法
　　ａ) 光電子スペクトロメトリー
　　ｂ) Ｘ線スペクトロメトリー
　　ｃ) レーザービームと放射光(SR)
　　ｄ) けい光Ｘ線スペクトロメトリー
　　ｅ) Ｘ線回折分析
　　ｆ) Ｘ線吸収によるXANES,XAFS
　　ｇ) 光熱スペクトロメトリー
　　ｈ) 光音響スペクトロメトリー
　　ｉ) 赤外吸収スペクトロメトリーによる表面分析(IR-ATR,IR-RAS)
　　ｊ) レーザーラマンスペクトロメトリー
　1.4　イオンビームを用いた表面微小領域の分析法
　　ａ) 固体質量スペクトロメトリー(SSMS,SIMS)
　　ｂ) イオンビーム微小領域質量分析(IMMA)
　　ｃ) ラザフォード散乱スペクトロメトリー(RBS)
　　ｄ) 共鳴核反応分析によるデプスプロファイリング

＜参考書＞

氏平祐輔：表面分析へのアプローチ，材料と環境，41(1992)，(I)表面分析の概要：247〜258，(II)電子の検出による表面分析―その1―：319〜330，(III)電子の検出による表面分析―その2―：406〜414，(IV)イオン，粒子の検出による表面分析：476〜487，(V)光子の検出による表面分析―その1―：557〜569，(VI)光子の検出による表面分析―その2―：629〜638.
氏平祐輔：Radioisotopes，43(1995)，59〜63：イオンビーム利用の基礎と応用(1)序論

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