真空応用機器（Applied Vacuum Engineering）[2G23]

＜授業のねらい＞

真空機器は幅広い分野で用いられ，プラスチック製品の成型を行う真空成型機，医薬品やインスタント乾燥食品の製造を行う真空凍結乾燥装置，そして現代社会を支えるLEDやLSIなど製造するための装置にまで及びます。本科目では，各種真空機器の基本動作と真空蒸着装置，スパッタリング装置，ドライエッチング装置，CVD装置，イオン注入装置など，産業界で用いられている真空装置について学びます。

＜受講にあたっての前提条件＞

「真空工学」を履修していることが望ましいですが，未履修の場合は物理学，化学の基礎を十分に復習してください。

＜具体的な到達目標＞

本科目では，各種真空機器の基本動作と真空蒸着装置，スパッタリング装置，ドライエッチング装置の他，食品を含む産業界で実際に用いられている真空装置について理解することを目標とします。

＜授業計画及び準備学習＞

準備：物理学，化学で学んだ原子，分子，電子についての復習をしてください。
１．真空の基礎と真空装置
　　　・「真空工学」の授業を総括し，真空の原理，真空計測，真空排気について復習する
２．真空装置の取り扱い
　　　・真空装置の種類，真空部品と材料，真空装置の管理について
３．真空薄膜形成装置（１）
　　　・平均自由行程，物理蒸着法・化学気相法，真空蒸着法の原理と装置，真空蒸着膜の応用について
４．真空薄膜形成装置（２）
　　　・スパッタリング法の原理と各種装置，スパッタリング薄膜の応用について
５．真空加工装置，分析装置
　　　・電子ビーム描画装置，エッチング装置，電子顕微鏡，X線光電子分光装置などの原理について
６．産業界での真空応用技術
　　　・電子分野，食品分野，機械分野，化学分野などでの応用につて
７．「学習内容の振り返り」

＜成績評価方法＞

授業で行う演習問題（30％），定期試験（70％）で評価し，「Ｄ」以上が合格です。

＜教科書＞

「わかりやすい真空技術　第３版」 真空技術基礎講習会運営委員会（編），日刊工業新聞社

＜参考書＞

「真空技術　第３版（物理工学実験）」堀越源一著，東京大学出版会
「真空の物理と応用（物理学選書 (11)）」熊谷 寛夫，富永五郎，他（共著），裳華房

＜オフィスアワー＞

八王子「火」16：00-17：00，13-409室

＜学生へのメッセージ＞

真空技術は様々な分野で応用されています。その多くは先端技術にかかわる分野ですので，将来の視野を広げるためにも是非関心を持って学んでください。