2016年度工学院大学 先進工学部生命化学科

真空応用機器(Applied Vacuum Engineering)[2G24]

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1単位
鷹野 一朗 教授  [ 教員業績  JP  EN ]
最終更新日 : 2016/10/27

<授業のねらい>
真空機器は幅広く用いられ,プラスチック製品の成型を行う真空成型機,医薬品やインスタント乾燥食品の製造を行う真空凍結乾燥装置,そして現代社会を支えるLEDやLSIなど製造するための装置にまで及びます。本科目では,各種真空機器の基本動作と真空蒸着装置,スパッタリング装置,ドライエッチング装置,CVD装置,イオン注入装置など,産業界で用いられている真空装置について学びます。

<受講にあたっての前提条件>
「真空工学」を履修していることが望ましいですが,未履修の場合は物理学,化学の基礎を十分に復習してください。

<具体的な到達目標>
本科目では,各種真空機器の基本動作と真空蒸着装置,スパッタリング装置,ドライエッチング装置の他,食品を含む産業界で実際に用いられている真空装置について理解することを目標とします。

<授業計画及び準備学習>
準備:物理学,化学で学んだ原子,分子,電子についての復習をしてください。
1.真空の基礎と真空システム(真空利用の歴史と実例)
2.真空装置の取り扱い(真空部品・材料,リークテスト,管理)
3.真空薄膜形成装置(1)(平均自由行程,真空蒸着法)
4.真空薄膜形成装置(2)(スパッタリング法,化学気相法)
5.真空加工装置(電子ビーム描画,エッチング)
6.真空をつかった分析・試験装置(電子顕微鏡,X線光電子分光装置,オージェ電子分光装置など)
7.応用技術(光学,装飾,食品,宇宙分野など)

<成績評価方法>
授業で行う演習問題(30%),定期試験(70%)で評価し,「D」以上が合格です。

<教科書>
「わかりやすい真空技術 第3版」 真空技術基礎講習会運営委員会(編),日刊工業新聞社

<参考書>
「真空技術 第3版(物理工学実験)」堀越源一著,東京大学出版会
「真空の物理と応用(物理学選書 (11))」熊谷 寛夫,富永五郎,他(共著),裳華房

<オフィスアワー>
八王子「火」16:00-17:00,13-409室

<学生へのメッセージ>
真空技術は様々な分野で応用されています。その多くは先端技術にかかわる分野ですので,将来の視野を広げるためにも是非関心を持って学んでください。


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