2007年度工学院大学 第1部電子工学科
半導体デバイス工学II(Semiconductor Device Engineering II)[1B15]
2単位 長谷川 文夫 非常勤講師
- <授業のねらい及び具体的な達成目標>
- 半導体デバイスはIT社会を担う基本素子である。本講義では半導体デバイスIに続いて、液晶ディスプレイに使われているTFT、ディジカメに使われているCCDやフラッシュメモリ、携帯電話に使われているHEMTやHBTなど、最新のデバイスの概略を説明し、更に発光ダイオード、レーザ・ダイオード、太陽電池の原理、集積回路の概念と構造ついて講義をする。
- <授業計画>
- 1。電荷結合デバイス(CCD:Charge Coupled Device)I --- 教科書6.1.3
CCDの動作原理;ディープディプレッションと信号の転送。CCDカメラの原理。 2。電荷結合デバイス(CCD:Charge Coupled Device)II --- 教科書6.1.3 動作原理、転送と界面準位の影響、埋め込みチャンネル、撮像でバイス。 3.CMOS、TFT、SOI --- 教科書6.4, 6.5 CMOS インバータ、BiCMOS、絶縁物上のMOSFET 4。MOSメモリの構造 --- 教科書6.6 メモリの原理。RAMとROM、DRAMとSRAM、 不揮発性メモリ、フラッシュメモリ。 5。マイクロ波デバイス マイクロ波の基礎知識、トンネルダイオード 6。化合物半導体 --- 教科書9.3.1 化合物半導体の特徴、バンド構造、混晶半導体、 7。ヘテロ接合と超格子--- 教科書4.8 ヘテロ接合。超格子。modulation doping。 8。ヘテロ接合を用いたマイクロ波デバイスI; HBT --- 教科書5.4 注入効率とベース抵抗。ヘテロバイポーラ・トランジスタ。 9.ヘテロ接合を用いたマイクロ波デバイスII; MODFET --- 教科書7.3 二次元電子ガス。変調ドープトランジスタ 10。半導体の光物性 電子と光の相互作用:光の吸収、発光遷移 11。フォトニックデバイスI --- 教科書9.1、9.2 発光遷移と光吸収、発光ダイオード(LED);赤外LED、 可視LED、青色LED 12.フォトニックデバイスII --- 教科書9.3 半導体レーザ (LD)。レーザ(LD)と発光ダイオード(LED)の違い。 13.フォトニックデバイスIII --- 教科書9.4、9.5 太陽電池。光検出器 14。集積回路 集積回路の概念とそのメリット。集積回路の限界。
- <成績評価方法及び水準>
- 中間及び期末テストの結果による。BとC、CとDの境界については、出席点を考慮する。
- <教科書>
- 半導体デバイス第2版--基礎理論とプロセス技術-- S.M.ジー著、南日、川辺、長谷川訳(産業図書;6600円)
世界的に名高い学部用半導体デバイスの教科書で、1985年に初版、2001年に大幅に改定された第2版が出版された。日本では2004年3月に第2版の翻訳が出版された。 半導体デバイスI、電子材料プロセス工学でも使用するので、3科目分とすれば必ずしも高くない。 企業の半導体技術者の多くも使っていると聞いている。
- <参考書>
- 「半導体超格子入門」小長井誠著(倍風館)
その他講義中に紹介する。
- <オフィスアワー>
- 新宿23階共同研究室:月曜---昼休み3限。
八王子5号館703号室:火曜日〜金曜日11時〜5時 質問は授業中随時。他に質問や相談があれば、e-mail:f-hasega@cc.kogakuin.ac.jpまで連絡のこと。
- <学生へのメッセージ>
- 説明やOHP(主に教科書の図)が分からなければその場で説明を求め、質問すること。
質問がない場合は時々こちらから質問する。 図は教科書に載っていないものだけ配るので、出来るだけ教科書を買うこと。
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