2007年度工学院大学 第1部電子工学科

半導体デバイス工学I(Semiconductor Device Engineering I)[1B14]

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2単位
長谷川 文夫 非常勤講師

最終更新日 : 2009/10/28

<授業のねらい及び具体的な達成目標>
現在の情報化社会を担っている半導体デバイス;ダイオード、トランジスタ、MOSFET等の動作原理を学ぶ。これらのデバイスは能動素子と言われるように、信号を増幅したり、スイッチとして働くことが特徴である。電子デバイスI、IIで学んだ概念を更に深く理解し、トランジスタやMOSFETで何故増幅が起こり、ラジオやテレビが見えるか、またスイッチとして働いてコンピュータを動作させるか(回路については既にアナログ及びディジタル回路で学習済)を理解することが、この科目の目標である。

<授業計画>
1。序
  半導体デバイス(構成要素、主要デバイス)、半導体技術、の概略
2。エネルギー・バンドとキャリア密度I
  半導体材料、結晶構造、価電子結合、エネルギー・バンド構造。
3。エネルギー・バンドとキャリア密度II
  エネルギーと運動量、金属-半導体-絶縁物、ドナーとアクセプタ。
4。キャリアの輸送現象
  キャリアのドリフト、拡散、生成-再結合。
5。p-n接合I
  基本形成過程、熱平衡状態のバンド図、
  空乏領域(ポアソンの方程式とポテンシャル分布)、空乏層容量。
6。p-n接合II
  電流-電圧特性、電荷の蓄積と過渡特性、接合の降伏。。
7。バイポーラ・デバイスI
  トランジスタ動作(電流利得、ベース到達率)、トランジスタの静特性(キャリア分布、
  ベース接地、エミッタ接地)。
8。バイポーラ・デバイスII
  周波数応答、スイッチング特性
9。MOSFETと関連デバイスI
  MOSダイオード(蓄積、空乏、反転のバンド図と空間電荷分布)。
10.MOSFETと関連デバイスII
  MOSダイオード(容量・電圧特性、フラットバンド電圧) 、出力特性、伝達特性、
  しゃ断周波数。
11.MOSFETと関連デバイスII
  MOSFETの動作原理、MOSFETのいろいろ、しきい値電圧の制御。
12。MOSFETと関連デバイスIII
  MOSFETの縮小則、CMOS。
13。MESFETと関連デバイス
  金属-半導体(ショットキー)接触、MESFETの構造と動作原理。

<成績評価方法及び水準>
中間及び期末テストの結果による。BとC、CとDの境界については、出席点を考慮する。

<教科書>
半導体デバイス第2版--基礎理論とプロセス技術-- S.M.ジー著、南日、川辺、長谷川訳(産業図書;6600円)
 世界的に名高い学部用半導体デバイスの教科書で、1985年に初版、2001年に大幅に改定された第2版が出版された。日本では2004年3月に第2版の翻訳が出版された。
 半導体デバイスII、電子材料プロセス工学でも使用するので、3科目分とすれば必ずしも高くない。
 企業の半導体技術者の多くも使っていると聞いている。

<オフィスアワー>
新宿23階、共同研究室:月曜日昼休み、3限
八王子5-703号室:火-金 11時〜5時

<学生へのメッセージ>
説明やOHP(主に教科書の図)が分からなければその場で説明を求め、質問すること。質問がない場合は時々こちらから質問する。図は教科書に載っていないものだけ配るので、出来るだけ教科書を買うこと。

 

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