△精密加工学（Precision Machining）[1A02]

＜授業のねらい及び具体的な達成目標＞

現在の電気・電子，半導体，IT産業を支える精密・超精密加工技術および精密・超精密に加工された部品の測定技術について講義する．以下に具体的な達成目標を示す．
(1)精度の概念を理解する．精度に影響する因子について把握する．
(2)機械加工法（切削法，研削法，研磨法）の特徴を理解する．
(3)高エネルギ密度加工法の概要を理解し，加工法選択の指針を得る．
(4)精密加工技術の有する現状の課題を理解し，その解決法を検討し把握する
（JABEE学習・教育目標）
　「機械工学エネルギー・デザインプログラム」：(E)◎，(D)○
（JABEEキーワード）
　「機械工学プログラム」：加工法，引張・圧縮・せん断応力とひずみ，切削法，工作機械，精密加工，表面加工，応力解析，精密機械
（前提となる基礎知識と習得後の展開）
　本科目を履修する前に，「機械実習」を履修，習得しておく必要がある．

＜授業計画＞

1　ガイダンス：“生産”の定義，精度の３要素，“加工単位”の概念などを講義する。
2　精度の3要素である寸法，形状，表面粗さの定義と評価法を説明し，高精度化達成の方策について考察する．
3　切削法，研削法について概括し，母性原理に基づく高精度化について説明する．
4　研磨の定義を説明し，表面機能について説明する．
5　各種固定砥粒研磨法，各種遊離砥粒研磨法について説明する．
6　放電加工法について説明する．
7　電解応用加工(電解加工，電気めっき，電鋳)について説明する．
8　レーザ光の性質，加工用レーザ，レーザ加工の特徴について説明する．
9　各種レーザ応用加工について説明する
10　液体ビーム加工，粒子ビーム加工について説明する．
11　半導体の製造プロセスの流れ，個々のプロセスについて概説する．
12　電子と物質の相互作用，電子ビーム加工について説明する．
13　電子ビーム応用技術（電子ビームリソグラフィ，電子顕微鏡，など）について説明する
14　各種薄膜作成法，イオンを使った加工法について説明する

＜成績評価方法及び水準＞

定期試験を80点満点，毎講義で出題する課題に対する回答を20点満点で得点化し，その合計点により最終成績を評価する．60点以上の者に単位を認める
「機械工学エネルギー・デザインプログラム」の学習・教育目標（D)および(E)は，上記の評価基準を満たせば達成される．

＜教科書＞

なし

＜参考書＞

「機械工作法」平井三友、和田任弘、塚本晃久（コロナ社）
「新版精密工作便覧」精密工学会編（コロナ社）
「ナノテクノロジの基礎と応用」谷口紀男(工業調査会)

＜オフィスアワー＞

質問その他は，horiken@mech.saitama-u.ac.jpに電子メールしてください．

＜学生へのメッセージ＞

精密加工・超精密加工技術，ビーム加工技術といった最先端技術が身近な製品の製造にどのように使用されているかを理解してもらうとともに，それらの技術がまだまだ未完成なもので日々進化していることを認識してもらいたい．授業の中では，いかにすればより精密，超精密な加工を行えるかを一緒に考えていきたい．

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